1. Laser Gun의 High Energy Source 초미세 접합장비 - 진공 Chamber 내의 Laser Gun 장착으로 공정진행과 진공 sample moving을 위한 sub chamber 장착으로 공정 및 E-Beam In-situ 관찰 동시 수행. - 미세접합(자동차 기밀접합 센서 및 모듈 제조, 초정밀 초소형 접합제조, 특수재료 접합 제조), 비접촉 정밀 진공 접합기술 구현