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- i-Tube No. 0908-Z-0076
- NTIS No NFEC-2009-09-150424
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 인천광역시 연수구 갯벌로 156
- 담당자 방정환 (T. 032-850-0217 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
마이다스시스템(주)
-
모델 명
MDA-60MS
내용연수5년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2009-08-23
취득금액89,820,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
18,713원
장비설명
"1. Semi auto alignment and Exposure system 2. Manual Load and Unload3. Auto Leveling 4. Operation mode Semi Auto Alignment Mode Manual Alignment Mode5. PC & PLC Controller6. Sample Size : 조각,4""wafer7. Wafer Stage : X,Y,Z and 4 Axis Z, Axis moto
장비 구성 및 성능
열을 이용한 고분자 물질 경화
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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