소재대상의 고분해능 미세조직 조사 (시료의 형태, 미세구조의 관찰, 구성원소의 분포, 정성, 정량 분석)

- 분해능력 : 가속전압 15kV에서 1.0nm 이상 / 1kV에서 1.4nm 이상- 배율 : 20배에서 80만배 이상- 전자 광학계 a) 전자총 : 상온 전계방사형 전자총 b) 가속전압 : 0.1V에서 30kV 이상 c) 렌즈 시스템 : 3단 전자계 렌즈, 줌 리덕션 형 d) 대물렌즈 조리개 : 4구경 이동식 조리개 또는 고정형 e) 검출기 : 상단 2차 전자 검출기 (이차전자, 반사전자 별도 검출 시스템)