㈜제이앤엘테크
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5년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 달리 분류되지 않는 기계가공 시험장비 >
2009-03-19
528,020,000원
고정형
건별
8,000,000원
가. 하이브리드 표면코팅(플라즈마) 장치 나. 고진공 챔버 및 진공펌프, Gauge 다. Plasma source : Closed drift thruster type 2 linear ion gun 800mm 2 Rectangular magnetron sputter 800mm x 100(target) 라. 19" Control rack 마. Control PC 바.
linear Ion Source 와 sputter를 이용하여 플라즈마 상태의 이온들을 제품에 증착시키는 장치, 각각의 소스 사용이 가능하며, 두 소스를 동시에 활용하여 박막증착이 가능함