스캔플러스
KLA-Tencor/P-16
5년
주장비
계측
기타 > >
2009-12-15
85,090,116원
고정형
17,727원
사양(1). Single 2D Scanning Profiler(2). 200 x 200mm Motorized Vacuum sample(3). Auto Theta Sample Stage(360 Degree)특징- 적용가능 공정 : Photo Resist ,Metal, Dielectric Film etc- Film Thickness(Depth) & Roughness Measurement For Piece ~ 8인치
○박막단차측정기기는 2um Radius(반지름) 60 degree(내각)의 탐침을 이용하여 Pattern 형태인 Profile을 분석하여 단차의 두께 및 고랑의 깊이를 0.1 Angstrom 의 분해능으로 측정하고 Line 외벽의 각도 및 Line 의 넓이의 값도 손쉽게 얻을 수 있습니다.