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- i-Tube No. 0909-Z-0092
- NTIS No NFEC-2009-10-073209
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 6,(오룡동)
- 담당자 김영백 (T. 062-600-6520 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
(주)아티스
-
모델 명
.
내용연수5년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2009-09-30
취득금액94,400,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
19,667원
장비설명
1.Furnace 공정 전Cleaning을 위한 SPM bath2. Solar cell 및 기타공정을 위한 Etch bath cleaning bath로 구성
장비 구성 및 성능
○공정 전,후 Substrate 표면처리세정(표면처리,식각,세정)으로 오염원 제거
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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