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- 증착기
- i-Tube No. 0908-Z-0075
- NTIS No NFEC-2009-09-131882
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 6,(오룡동)
- 담당자 김영백 (T. 062-600-6520 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
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제작사
㈜셀코스
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모델 명
STIH-270-4CK 6KW
내용연수5년
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구분
주장비
용도생산
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표준 분류
기타 > >
-
취득일
2009-08-26
취득금액283,320,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
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사용료 형태장비 사용료
59,025원
장비설명
진공상태에서 e-beam gun을 이용 박막증착
장비 구성 및 성능
○반도체 공정에서 전극용으로 사용되는 Au, Al, Ti, Cr등의 금속을 전자빔을 이용하여 증착하고,
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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