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- i-Tube No. 0911-C-0072
- NTIS No NFEC-2010-01-078343
-
설치기관
공동기기원
(한국공학대학교 산학협력단)
- 주소 경기 시흥시 정왕1동 한국산업기술대학교 경기 시흥시 정왕1동 한국산업기술대학교 산업협력단
- 담당자 유미선 (T. 02-986-1202 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
(주)금호테크
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모델 명
U-970139/UNI-DF-2000
내용연수4년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2009-11-18
취득금액192,500,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료30,000원
장비설명
CCL의 산화 제거 및 Dry Film 과의 밀착성 증대, PCB 미세회로 형성을 위한 전처리 설비
기판의 밀착력 증대를 위하여 기계적방식 정면(600방,800방) 화학적인 방식 S/E으로 표면조도를 높여주는 방비
장비 구성 및 성능
* 처리기판규격 Min. 250(L) x 250(W) mm Max.610(L) x 610(W) mm* 제품 두께 Min 0.06mm~5.0mm* HOLE 크기 0.15mm 이상* 처리 약품 황산 계열
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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