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- i-Tube No. 0906-C-0117
- NTIS No NFEC-2010-01-078326
-
설치기관
공동기기원
(한국공학대학교 산학협력단)
- 주소 경기 시흥시 정왕1동 한국산업기술대학교 경기 시흥시 정왕1동 한국산업기술대학교 산업협력단
- 담당자 유미선 (T. 02-986-1202 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
Orbotech
-
모델 명
Paragon Ultra 80
내용연수4년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2009-06-09
취득금액849,235,082원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료30,000원
장비설명
15um 급 미세회로구현을 위한 비접촉 정밀 노광 가능, 고부가 PCB 제품의 연구 및 시제품 생산
포토마스크없이 CAM Data를 이용하여 기판위에 직접 노광하여 미세회로를 구현하는 장비
장비 구성 및 성능
* Max substrate size : 558 x 660(mm)
* Minimum Line Width : 15um
* Resolution: 1um
* Depth of focus : 75um
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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