하나플랜트
HY-150P
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2009-05-25
231,000,000원
직접사용
고정형
시간별
96,250원
대기중의 공기중에 질소만 필터링 하여 공급하는 장치로 기존 질소를 가스 업체에 구매하던걸
비용절감을 위해 공기중의 기체 내부에 있는 질소를 발생하기 위한 장치임.대용량의 질소가스를
일정하게 공급할수 있음
1. Air compressor -maker:hanshin - typ:oil-free,공냉식 -압력:9.5kg/cm2g이상2. Refrigeration air dryer - type:air cooled - flow rate:22.5Nm3/min이상3. 흡착식 air dryer - type:heatless - flow rate:1,500Nm3/hr4. Air receiver tank -용량:3.0m3 -safety valve&pressure gauge temp guage,drain valve포함5.PSA N2 generator - flowrate:150Nm3/hr -purity:99.99%(N2+Ar)이상 -operation pressure:6.0Kg/cm2g이상6. N2 tank -volume:0.5m3 -재질:sus304(내외 buffing)7. air filters -pre filter:5um-80A&N&T&I&S&null&N&T&I&S&null