베타
VPE-H100
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2009-06-24
895,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
154,500원
GaN wafer 및 Template 성장 장비
Non-sapphire 기판을 이용한 고휘도 LED 에피성장
적용가능 재료 : GaN, AlGaN, InGaN, AlN
◦적용가능 Device 구조 : LED(Light Emitting diodes), HEMT(High
Electron Mobility Transistors),
(1) Main Chamber- Heater : 6 zone- Heat insulator- Electrode- SUS 304 water cooling chamber with rack(2) Control System- Separate control panel- Auto / manual Control - Temperature controller : Programmable digital PID Controller