프로세스가 시작되기 전에 증발은 진공 상태에서 이루어지는, 소스 재료 이외 즉, 증기가 거의 완전히 제거됩니다. 고진공에서 증발 입자의 배경 가스와의 충돌없이 증착 대상으로 직접 닿게 됩니다. 10-4 Pa의 전형적인 압력에서 뜨겁게 가열된 입자는 외부 입자와 충돌을 일으킬 수 있으며, 알루미늄은 고진공 상태가 되지 않으면 산소의 존재로 인해 알루미늄 산화물을 형성합니다. 또한 박막의 두께를 제어하기 위해 기판에 도달하는 증기의 양을 줄일 수 있습니다.