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- i-Tube No. 0901-C-0125
- NTIS No NFEC-2009-09-072228
- 설치기관 한국과학기술연구원
- 주소 서울 성북구 월곡2동 1~68 서울 성북구 하월곡2동 39-1
- 담당자 강종윤 (T. 02-958-6722 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
코리아바큠테크
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모델 명
KV-052-1
내용연수8년
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구분
주장비
용도계측
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표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
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취득일
2009-01-07
취득금액72,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료원
장비설명
지능형 세라믹 나노구조체 소재 과제 수행을 위한 RF 스퍼터링 장비
장비 구성 및 성능
Process Chamber 1set-Vacuum Pumping Ynit 1set-Substrate Heating unit 1 set- Sputtering Gun Source 3 set
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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