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공동활용장비
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- heating module for sputtering process
- 고온 증착 모듈
- i-Tube No. 0911-C-0064
- NTIS No NFEC-2009-11-077238
- 설치기관 한국과학기술연구원
- 주소 서울 성북구 월곡2동 1~68 서울 성북구 하월곡2동 39-1
- 담당자 (T. )
- 매뉴얼
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온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
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제작사
삼한박막진공
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모델 명
module
내용연수8년
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구분
주장비
용도생산
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표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
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취득일
2009-11-24
취득금액61,600,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
이동형
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사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
질화물 박막을 합성하기 위한 cosputtering 공정 장비에서 1000oC이상의 증착온도를 만족시키기 위한 module로 고온에서 합성이 필요한 신 박막 물질의 합성 연구
장비 구성 및 성능
heating 온도 1200oC직경: 10 cm진공 분위기 작동
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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