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공동활용장비
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- 450mm Si Wafer Furnace
- 450mm 실리콘 열처리로
- i-Tube No. 0912-C-0199
- NTIS No NFEC-2009-12-078752
- 설치기관 한국과학기술연구원
- 주소 서울 성북구 월곡2동 1~68 서울 성북구 하월곡2동 39-1
- 담당자 김춘근 (T. 02-958-5738 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
예스티
-
모델 명
450mm Si Furnace
내용연수8년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
-
취득일
2009-12-15
취득금액45,100,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
1. "450mm 실리콘 웨이퍼 표준화 연구“를 위한 기초물성 측정용 Vertical Furnace 2. 450mm 실리콘 웨이퍼 열처리로 3. 450mm 실리콘 웨이퍼 900℃ 열처리 4. 450mm 실리콘 웨이퍼 저온 산화막 제조
장비 구성 및 성능
450mm Si Furnace 900℃
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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