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- i-Tube No. 0912-C-0187
- NTIS No NFEC-2010-01-078143
- 설치기관 포항공과대학교산학협력단
- 주소 경상북도 포항시 남구 청암로 77,포항공과대학교(효자동)
- 담당자 이양형 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
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제작사
베스
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모델 명내용연수
8년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2009-12-21
취득금액59,400,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
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사용료 형태
건별
장비 사용료원
장비설명
RF-sputtering 공정을 통하여 박막을 증착하기 위한 장비입니다.
장비 구성 및 성능
박막 증착을 위한 챔버, 원하는 물질을 박막으로 증착하기 위한 스퍼터 건, 챔버의 진공을 유지하기 위한 펌프로 구성됨. 비교적 넓은 면적에 균일하게 조절된 미세구조로 박막을 형성 가능.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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