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- i-Tube No. 0901-C-0114
- NTIS No NFEC-2009-02-071153
- 설치기관 포항공과대학교산학협력단
- 주소 경상북도 포항시 남구 청암로 77,포항공과대학교(효자동)
- 담당자 김태완 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
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제작사
TEL
-
모델 명
Alpha-808DN
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2009-01-19
취득금액44,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료450,000원
장비설명
특징
건식산화용 퍼니스는 외부 열원에 의해 고온으로 유지되는 Tube 내에 Wafer를 Loading하고 Tube 내에 O2 Gas만 반응 Gas 로 인가해서 열산화막성장 공정을 진행하는 장비.
장비 구성 및 성능
구성및성능
Temp. Control Range : 600-1150℃ Temp. Ramp Up(Down) Rate : >10.0 (3.0) ℃/min Oxide Thickness Uniformity(1sigma) : < 2% Temp. Uniformity :±0.5℃ 8inch 장비.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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