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- 감광제 제거 시스템
- i-Tube No. 0901-C-0113
- NTIS No NFEC-2009-02-071154
- 설치기관 포항공과대학교산학협력단
- 주소 경상북도 포항시 남구 청암로 77,포항공과대학교(효자동)
- 담당자 김태완 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
PSK
-
모델 명
DAS2000
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
-
취득일
2009-01-19
취득금액99,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
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사용료 형태
건별
장비 사용료50,000원
장비설명
특징
반도체 패턴 형성 후 잔류 및 기본 감광제 제거
구성및성능
Microwave Plasma 방식, wafer damage 최소화, 200mm Ashing System
활용분야
▶Pattern Develop 후 잔류 Resist 제거
▶Etching 공정 후 Masking Layer PR 제거
장비 구성 및 성능
위의 감광제 제거장치(PR Descum)의 구성 및 성능은 다음과 같습니다.
Microwave Plasma 방식의 wafer damage 최소화 200mm Ashing System
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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