Hitachi High Technologies corporation
S-4800
8년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2009-12-30
416,699,818원
고정형
시간별
50,000원
전자빔을 이용하여 금속, 무기물질, 고분자의 표면과 단면구조를 분석하는 장비로써 표면구조의 3차원적 image를 제공
-분해능 : 1.0nm(at 15kV), 1.4nm(at 1kV) -배율 : x20~x800,000 -전자총 : Cold cathode field emission -가속전압 : 0.5 to 30kV -Specimen stage : X, Y 0~50mm, Z 1.5~30mm, T -5˚~+70 ˚, R 360˚ *EDS -분해능 : 129eV at 20mm(MnKa) -검출범위 : B(5) to U(92)