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- i-Tube No. 0910-D-0164
- NTIS No NFEC-2010-12-126732
- 설치기관 한국전자기술연구원
- 주소 전라북도 전주시 덕진구 반룡로 111,(팔복동2가)
- 담당자 강혜정 (T. 063-219-0151 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
엠에스테크(MS-TECH)
-
모델 명
MST-12000C
내용연수10년
-
구분
주장비
용도계측
-
표준 분류
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비
-
취득일
2009-10-30
취득금액134,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료70,000원
장비설명
프루브 팁을 wafer 상태의 chip이나 소자의 표면에 정밀하게 접촉시켜 IV-CV curve 측정 할 수 있는 장비
첨단 반도체 소자 및 재료의 전기적 특성 분석에 이용 가능.
장비 구성 및 성능
기판크기: 370mmⅹ470mm
온도제어: -10~200℃
전류 변화 및 해상도: 1pA~100mA/0.1fA
전압변화 및 해상도: 500mV~100V/1uV
소스 주파수: 1kHz~5MHz
Capacitance : 100nF~1pF
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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