키슬리 인스트루먼츠
Max. 100mA
10년
부대장비(부가장치) (주장비:프로브 스테이션)
계측
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비
2009-09-24
67,001,480원
고정형
시간별
0원
Probe station system에 장착되는 부대장비
프루브 팁을 wafer 상태의 chip이나 소자의 표면에 정밀하게 접촉시켜 IV-CV curve 측정 할 수 있는 장비
첨단 반도체 소자 및 재료의 전기적 특성 분석에 이용 가능.
기판크기: 370mmⅹ470mm
온도제어: -10~200℃
전류 변화 및 해상도: 1pA~100mA/0.1fA
전압변화 및 해상도: 500mV~100V/1uV
소스 주파수: 1kHz~5MHz
Capacitance : 100nF~1pF