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- i-Tube No. 0905-Z-0044
- NTIS No NFEC-2010-07-081070
- 설치기관 인하대학교산학협력단
- 주소 인천 남구 용현동 253 인하대학교 인천 남구 용현동 253 인하대학교
- 담당자 이한섭 (T. 032-860-7495 )
- 매뉴얼
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온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
코리아바큠테크
-
모델 명
KVT-3004CAG
내용연수11년
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구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
환경조성·생산·사육시설 > 환경조성형시설 > 진공/압력/밀폐시설
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취득일
2009-05-15
취득금액90,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰 직접사용
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료999,000원
장비설명
본 진공증착기는 cryogenic pump를 사용해 10-7 torr이하에서 4인치급 기판위에 금속 및 유기박막을 정밀 증착할 수 있는 장비임. 기판의 온도번위는 상온에서 150도까지 변화가능.
장비 구성 및 성능
장비 내에는 2개의 메탈소스와 3개의 메탈소스를 구비하고 있으며 이들 동시에 증착할 수 있는 기능을 가지고 있음. 박막 균일도를 유지하기 위한 rotating head를 가지고 있음.
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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