. 정량/정성 분석 장비. . 태양전지 용 실리콘 웨이퍼의 도핑 농도(B, P) 측정. . 기타 용액상태 시료내의 다원소 동시분석. . 분광기 2기 장착. Wavelength range : 160 to 850nm . Mounting system : Vacuum Czerny tuner type . First Focal length : 1000mm . Second Focal length : 1000mm . Internal standard method(Possible to attach) . Evacuation system : Rotary vacuum pump(160L/min)