특징전자현미경에서 발생한 x-ray 신호를 파장 detector로 검출하여 시료 중 함유된 화학적 성분을 분석하는 장비 구성및성능SEM, WDX검출기, Cathodoluminescence 등활용분야분석 대상 시편에 대해 X-RAY 통해 스캔 후 각 원소(화학 성분)에 따른 고유 파장을 분석하여 정성 정량적 시료 분석