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- i-Tube No. 0901-Z-0045
- NTIS No NFEC-2009-06-071520
- 설치기관 성균관대학교산학협력단
- 주소 경기도 수원시 장안구 서부로 2066,성균관대학교(천천동)
- 담당자 김윤식 (T. 031-290-5640 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Micro-Tec Co., Ltd.
-
모델 명
MT-550TV
내용연수5년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 달리 분류되지 않는 측정시험장비
-
취득일
2009-01-06
취득금액126,671,606원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료0원
장비설명
이 장비는 스크린 프린팅 장비로 MEMS 부품 제작시 전 후면 전극 형성시 사용된다.
프레임과 스퀴지를 이용하여 적절한 압력과 속도로 전극을 형성할 수 있는 장치이다.
전면에 카메라가 align을 도와주는 장치이다.
장비 구성 및 성능
1.적용 웨이퍼 두께: 100um ~ 1mm
2.적용 웨이퍼 사이즈 : 125mm x 125mm 156mm x 156mm
3.프레임 사이즈: 450mm x 450mm
4.인쇄 가능속도 : 0~600mm/s
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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