Kla-tencor
D-100
10년
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2011-11-28
50,000,000원
이동형
원
- 지정업체명/품명/모델명KLA-Tencor / Alpha-Step / D-100 / 1 Set
- 용도 설명상기 품목은 접촉식 ( Stylus ) 측정 방식으로 시료 위에 도포 시킨 각종 박막의 표면을 Scanning하여 그들 박막의 두께를 1 Angstrom 이하의 분해능으로 측정하며 표면의 거칠기 및 상태를 확인하는 장비이다. Silicon Wafer 나 Glass등 시료 위에 Design상 요구된 Pattern 박막의 두께가 정확히 형성