A&I
NANO 3D
9년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
2009-10-21
62,682,000원
고정형
시간별
20,000원
특징
⦁표면 거칠기(Ra,Rq,Rp,Rv,Rt,Rz..)
⦁높이, 단차, 폭 측정(수 나노미터에서 최대 5mm)
⦁관심 영역 정보(부피, 단면적)
⦁Display(LCD. PDP) 생산에서의 미세 형상 측정 품질/공정 관리
⦁반도체 BGA/BUMP 형상 측정, PCB 표면 거칠기 측정
⦁경면체 표면, NT 관련 제품 측정(Wafer, MEMS, Optical Connector, 정밀 기계 가공물 표면)
target : Co, Sn, Ni, ZnO, Zn base pressure : low 10E-8 torr substrate heating : max. 700oC (heater 기준) - RF, DC plasma