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- 에처
- i-Tube No. 0908-C-0041
- NTIS No NFEC-2011-01-137974
- 설치기관 (재)서울테크노파크
- 주소 서울 노원구 공릉동 172번지 서울테크노파크 604호
- 담당자 김경래 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
맥시스
-
모델 명
Maxis 200
내용연수9년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
-
취득일
2009-08-01
취득금액368,676,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료60,000원
장비설명
System : Semi Auto Loaded ICP System w/Vac Loadlock
Wafer Carrier : 4“. 6“, 8“
Software : Windows XP
ICP Coil Source : 2 MHz, 1000W Generator & 2000W Matcher
장비 구성 및 성능
Bias : 13.56 MHz, 600W Generator & 600W MatcherChiller : HAAKE, -30 ~ 200?H?HProcess Gas : O2, SF6, CHF3, C2H4, CF4, Ar, N2, Cl2Pumping System :
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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