본 장치는 박막측정시 Out-of plane측정과 함께 In-plane측정(별도의 In-plane arm에 의한 scan)이 가능합니다. 시료면의 수직결정면에 대한 In-plane 정보를 통해 박막구조정보의 다양한 정보를 얻을 수 있습니다. In-plane측정에 의한 a b축 정보와 out-of plane의 c축 정보로 완전한 3차원 박막구조를 분석할 수 있습니다. (epi막과 기판간의 texture orientational relationship lattice distortion 등) 또한 In-plane측정으로 수nm의 극박막 회절을 얻을 수 있으며 다양한 입사각 조절로 비파괴 depth profile 분석이 가능합니다.