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- i-Tube No. 0907-A-0029
- NTIS No
- 설치기관 (재)부산테크노파크
- 주소 부산 강서구 지사동 1276번지
- 담당자 임예라 (T. 051-974-9172 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
TESCAN
-
모델 명
LYRA 1 XMH
내용연수10년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
-
취득일
2009-07-08
취득금액874,784,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
일별
장비 사용료500,000원
장비설명
본 장비는 재료의 조직 구성 분석(SEM, TEM)에 사용 될 수 있습니다
- 배율 : × 4 ~ × 1,000,000
- 에칭속도 : 10um/57sec(Si)
- 성분분석 : Be(4) ~ U(92)
- 표면형상 : × 4 ~ × 50,000
장비 구성 및 성능
- 에칭속도 : 10um/57sec(Si)- 성분분석 : Be(4) ~ U(92)
- FIB/FE-SEM/XRF-EDS/3D-MeX
- Schottky Field Emission Gun
- GIS(Gas Injection System), Nanorobotic Manipulator
- Resolution : 1.2nm(SEI), 2.0nm(BEI), 5.0nm(FIB)
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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