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- i-Tube No. 0912-C-0077
- NTIS No NFEC-2011-01-139594
- 설치기관 인제대학교산학협력단
- 주소 경남 김해시 어방동 인제대학교
- 담당자 이제원 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
㈜KSM
-
모델 명
D-Poly증착장비
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 달리 분류되지 않는 열유체장비
-
취득일
2009-12-29
취득금액378,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료30,000원
장비설명
D-poly Deposition
장비 구성 및 성능
D-poly systemN2/Sih4/PH3, 50slotfully automatic computer controlmini-8, 6channel T/C type, 4~20MADCMFC 8chanelmax temp 850℃, max ramp up 25℃/min3control zone
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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