1.Process Chamber -----1set
1)Material: SUS 304
2)Size: φ450×350(H), Inside
3)Pumping Ports
4)View Ports(VG100)
5)OES View Port
6)Film Thickness Monitor Port
7)QM Monitor Port
8)Gauge Ports(NW16,NW25)
9)Substrate Holder Port(VG150)
10)Vent port(N2 Gas Purge)
11)Sputter Gun Port(VG350)
12)Ion Gun Port(VG150)
13)Heater Feedthrough Port(CF2.75")
14)Spare Ports(CF 2.75")