반석카본
TM-EA6M17
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 전기/소결로
2009-02-05
141,900,000원
고정형
원
본 System은 태양전지용 박막용 Ceramic Target소결 설비입니다.
소결 소재가 난 소결 물질인 관계로 고온에서 Gas분포,압력등을 제어하기 위한 Spec들로 구성 되어 있고 운용성을 위해 전자동운전과 수동운전을 겸하고 있습니다. 고온가열기 본체와 제어반,Gas 공급 장치 등을 포함하고 있습니다.
Chamber 구성
1) SUS304로 구성된 2중 수냉식 구조
2) 내 압력 100mmH2O Leak 없는 구조
3) 내부 열간 화학반응을 고려한 Insulator
4) 온도측정 port 4개소
5) 승온을 위한 발열체 설치
6)View Port 1개