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- i-Tube No. 0911-C-0017
- NTIS No NFEC-2010-12-118609
- 설치기관 한밭대학교산학협력단
- 주소 대전광역시 유성구 동서대로 125
- 담당자 양준모 (T. 042-366-1523 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
VTS
-
모델 명
DaON-1000S
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2009-11-30
취득금액80,756,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
건별
장비 사용료50,000원
장비설명
박막 코팅을 위한 E-Beam 및 Thermal source의 결합형 증착 장비
장비 구성 및 성능
○ RF Power : 1KW 6. Wafer size 6-inch
○ DC Power : 3KW 7. Target size 6-inch
○ 기판가열온도 : 600℃
○ 터보펌프 1,500L/sec
○ 최대진공도
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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