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- i-Tube No. 0906-Z-0025
- NTIS No NFEC-2010-08-082522
- 설치기관 (재)광주테크노파크
- 주소 광주 북구 대촌동 958-3번지
- 담당자 김윤정 (T. 062-960-9564 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
-
제작사
아이시스
-
모델 명
i60FA
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
> >
-
취득일
2009-06-10
취득금액373,780,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
직접사용
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료11,687원
장비설명
장비 구성 및 성능
Filtered Arc-Ion Coating System - Chamber : 700*700*700 - MFC : Ar, O2, CH4, N2 - Beam Uniformity : 150mm+/-15% - 박막 표면 조도 : Ra<3nm
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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