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- i-Tube No. 0811-C-0142
- NTIS No NFEC-2009-04-070384
- 설치기관 한양대학교산학협력단
- 주소 서울특별시 성동구 왕십리로 222,한양대학교내 한양종합기술연구원 110호(행당동)
- 담당자 백운규 (T. 02-2220-0502 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
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장비정보
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제작사
코리아바큠테크(주)
-
모델 명
Thermal evaporator system KVT-3004
내용연수11년
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구분
주장비
용도 -
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
-
취득일
2008-11-18
취득금액47,320,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료원
장비설명
증착을 원하는 Metal Source에 열을 가하여 Evaporation 시켜 기판위에 Thin film을 증착하는 장비
장비 구성 및 성능
Rotary pump, Process chamber, Turbo molecular pump, AC power 등으로 구성되어 있으며, Ultimate pressure - Less than 2x10-7 Torr, Sample size - 2~8 inches, Substrate size - 2~8 inches dia. With wafer tray, Uniformity - Withiun 3%
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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