Thermal evaporator이다. 이 장비는 각종 금속(Au, Al, Ti, Cr, In, Ni)과 유기막(NPB, Alq3, Liq)의 박막을 기판 위에 증착할 수 있는 장비이다. 진공도는 1.0e-17 Torr정도 까지 얻을 수 있다. 박막 증착시에는 박막 두께 측정 센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할 수 있다.