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공동활용장비
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- Plasma Asher
- i-Tube No. 0803-Z-0160
- NTIS No NFEC-2011-01-133241
- 설치기관 한국전자통신연구원
- 주소 대전 유성구 가정동 한국전자통신연구원 가정로 218
- 담당자 양우석 (T. 042-860-1675 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
PLASMA-FINISH GmbH
-
모델 명
Plasma Asher
내용연수3년
-
구분
주장비
용도계측
-
표준 분류
기타 > >
-
취득일
2008-03-27
취득금액226,416,803원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료10,000원
장비설명
PR, polyimide 등의 유기박막을 산소 플라즈마로 연소하여 제거하는 반도체 장비
장비 구성 및 성능
기판 크기: 조각~6인치, 기판 온도: 최대 300도, 플라즈마 소스: 마이크로웨이브
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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