ICP-OES(Inductively Coupled Plasma - Optical Emission Spectrometer)의 원리는 다음과 같습니다. 10,000°K의 높은 온도를 갖는 Argon Plasma를 이용하여 액상 시료를 원자화 시키고, 6,000 ~ 7,000°K의 온도를 갖는 꼬리 불꽃 부분에서 원자 방출선 및 이온 방출선을 측정하는 원리로, 10,000°K의 높은 온도는 기존의 낮은 온도를 이용하는 AAS(Atomic absorption spectrometer)나 기타 장비에 비해, 효율적인 원자화가 이루어져, 결과적으로 화학적인 간섭이 거의 없습니다.