(주)엔티엠
ICP-OES
4년
주장비
계측
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > 달리 분류되지 않는 분광분석장비
2008-05-15
140,000,000원
고정형
원
특징
ICP 형태의 고밀도 플라즈마를 발생시켜 소재에 노출시킴으로써 소재의 내플라즈마성을 평
가하는 기능을 수행한다.
구성및성능
- ICP upper power(w) : (13.56 MHz) 800 W
- bias power(w) : (2MHz) 300W
- 4 인치 웨이퍼(4 inch waper)