맞춤추천
공동활용장비
- 장비찾기
- 공동활용장비
- Spin Rinse Dryer
- 회전건조기
- i-Tube No. 0807-Z-0116
- NTIS No NFEC-2009-01-069255
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 6,(오룡동)
- 담당자 김영백 (T. 062-600-6520 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
(주)바이텍
-
모델 명
CUS-STK
내용연수5년
-
구분
주장비
용도기타
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 건조시스템
-
취득일
2008-07-02
취득금액93,179,609원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료19,412원
장비설명
- Max. RPM = 5000, for drying 4 ˜ 8 inch wafers(cassette work) - Max. RPM = 5000, for drying 200 × 200 Glass(cassette work) - Water/Rinse/Air/Spin 4가지 세척 모드 - Wafer size : 4, 6, 8 inch - Glass size : 200 x 200
장비 구성 및 성능
○ SRD내에서 DI 세정된 소재는 동일 장비 내에서 저장된 Recipe를 통해 Dry step을 진행하며 Rinse & Dry공정 - 가열된 N2를 저속 회전하는 Glass/Wafer에 직접 Blowing 건조
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
Copyrightⓒ 2020 KIAT All rights reserved.
