"본 3차원 표면분석기는 Confocal형태의 현미경으로써 3차원적으로 표면을 관찰할 수 있는 장비이다. 또한, FE-SEM을 이용한 미립자 분석이 가능하다. 뿐만 아니라, 표면 구조 분석 및 세정 전, 후의 세정대상 부품상에 존재하는 오염물질을 단시간에 측정하여 세정성 평가가 가능하다.(Color 3D Laser Confocal Microscope ) [본 장비의 주요사양] - Monitor Magnification power : 18,000*200 - Objective lenses : (10x, 20x, 50x, 150x)＊10x / NA=0.3, WD=16.5mm*CF Plan 20x / NA=0.46, WD=3.1mm＊CF Plan Apo 50x / NA=0.95, WD=0.35mm"