진공 펌프 : 용량 600Liters/Min 이상일 것이며 진공 펌프는 주 배출 밸브와 보조 밸브로 구성되어 있어야하며 진공 펌프내 오일 역류 현상을 방지하기 위한 Blank-off기능이 장착되어 있어야 하며 모터의 회전수를 펌프에 100% 적용하기 위한 직결식으로 구성되어 있어야하며 진공펌프의 최저 도달압력은 10 x 10-4 Torr 이하 - 진공게이지: 디지털 저항감도 측정 게이지로서 대기압력부터 1 x 10-3Torr까지 측정하며 진공게이지의 범위는 0에서 999mTorr로 표시되어 있음 8. 사용 전압 : 380Voltage/220 Voltage 3 Phase 60 Hz.