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없음

가속된 전자빔이 시료를 구성하고 있는 원자와 충돌하여 원자의 하부 각에 있는 전자를 떼어내면 빈자리가 형성되고 이 자리는 보다 상부 각에 위치한 전자가 떨어지면서 채워지게 된다. 이때 두 전자 사이에 형성된 에너지에 의해 특성 X-선이 방출되며 이들의 에너지는 원자마다 다르므로 이를 이용하여 시료의 구성원소를 분석하며, 또한 이들의 상대적 세기(intensity)를 비교함으로서 각 구성 원소들의 양을 분석

4Ch WDS(4Be-92U 분석가능)INCA EDS(Oxford 모델)acceleration voltage 0.2~30 kVProbe Current 10-12~10-5ASpecimen size : 100mm*10mm*50mmH(max)Analyzable area : 90mm*90mm Specimen stage drive speed : 15mm/s