Laser 검출기Laser 광원을 검출기 외부에 놓고, 광화이바를 통하여, 광열에 의한 영향을 없게 하였으며, 신개발의 광로차 증배방식을 채용하여, 다이나믹 범위와 분해능비가 600,000:1이 되어 형상과 그 내부에 들어있는 거칠기 등, 미세한 형상을 일괄적으로 측정이 가능하며, 또한 촉침 레바계의 원호 운동의 보정 및 촉침선 단곡률 반경의 보정이 가능하여, 정확한 형상 및 거칠기를 구할 수 있다Fees speed : 0.05mm~2mm/secSurface grade 30nmEvaluation length : 0.25~80mm