과제명 : 반도체광원 시험 생산지원(국비)
과제책임자 : 김왕기



액체 NH3 대형 대용량용기는
각 장비에 공급되는 NH3를 대용량으로 저장하여 공급하기위한 설비이다.


용량을 크게하여 자주 교체되는 횟수를 줄여 공정에 정확도를 기여함.


3.1.1 시스템 사양
구 분 내 역
모델명 KOPTI BSGS
Gas 공급 방식 Auto Change System
제어시스템 PLC : OMRON (CJ1G)
전원사양 AC220V, 24A, 50/60Hz, 단상
사용환경
온도 : 5~35℃
습도 : 0~80%(non-Condensing)
고도 : 2,000이하
Class 100, Class1000에서 사용
유틸리티 배기 크기 : 4인치
소 음 70dB 이하
Safety / Environment Manual
3.1.2 시스템 특성
1) Option Interlock에 의한 안전차단 기능 적용
2) 난연성 특수도장
3) 안전강화 유리를 적용한 Access Window
4) 전자파 장애를 고려한 설계
5) 압력센서(PT)에 의한 압력의 Digital Display 및 가스압력 잔량검출
6) Weight Scale에 의한 중량의 Digital Display 및 잔량검출, 실 중량