나노솔텍
ALI-1100
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2008-06-13
133,100,000원
직접사용
고정형
시간별
50,000원
◦적용가능 기판크기 : 2 ~ 3인치 Wafer
◦적용가능 기판 : Sapphire to Sapphire, Sapphire to Silicon, Silicon to Glass, Glass to Glass, GaAs to Silicon
◦적용가능 bonding metal : Au-Au, Au-Sn 등
◦Bonding align 능력 : 5~10um 오차
◦Bonding align 온도 : 상온
◦Bonding align 시간 : ~ 1시간
◦동작모드 : Manual 모드 가능
◦적용가능 기판크기 : 2 ~ 3인치 Wafer
◦적용가능 기판 : Sapphire to Sapphire, Sapphire to Silicon, Silicon to Glass, Glass to Glass, GaAs to Silicon
◦적용가능 bonding metal : Au-Au, Au-Sn 등
◦Bonding align 능력 : 5~10um 오차
◦Bonding align 온도 : 상온
◦Bonding align 시간 : ~ 1시간
◦동작모드 : Manual 모드 가능