본 시스템은 미세탐침이 가능한 프로브 스테이션을 활용하여 발광소자인 LED Chip, SMD type 등의 다양한 발광소자의 전기적, 광적인 특성을 파악 할 수 있는 시스템 구성이 되어 있다.

1. 6“ Vacuum wafer chuck과 Quartz Glass chuck의 2종류 척을 활용한 소자의 전면과 후면의 특성 파악이 가능한 Probe Station
2. Vacuum Pump 장착
3. Plate Ring : Manipulator 장착
4. X, Y, Z, Theta Stage 장착 : 원하는 측정부위 확인을 위한 편리하고 정밀한 조작가능
5. Flexible Foot을 통하여 진동방지 기능의 극대화
6. 250 ×의 현미경 기본 장착: 소비자가 원할 경우 고배율의 현미경은 물론 CCD 옵션 장착.
7. Manipulator구조에서 Plate Spring 구조를 채택하여 샘플 및 Probe Tip 보호기능보유
8. Probe Lever를 통한 샘플의 손쉬운 교체 가능
9. Spring Clip Sample board를 활용한 샘플 컨택의 편리성 보장
10. 척 상하를 통해 발광되는 LED의 상단, 하단의 특성을 파악하기 위한 적분구 시스템