EVATEK
BAK501
10년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2008-07-14
372,015,390원
직접사용
고정형
시간별
155,006원
LD칩제작에 있어 메탈증착장비로 메인챔버 하나로 로딩언로딩 장비임.
프로그램방식으로 증착률 및 도가니 로테이션등을 프로그램으로 제어 할수 있다.
모든 동작이 프로그램화 되어 있어, 장비의 전반적인 오토컨트롤이 가능함
특징Basic system process chamber BAK501:1ea, Frame made in aluminium profiles:1ea, Frant wall:1ea, High vacuum valve:1ea, High pump system:1ea, PKR251 gage:1ea, TPR280 gage:1ea, Compressed air manifold:1ea, Additional Venting device:1ea, Protection shield:1ea, Rotary dri