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- i-Tube No. 0807-A-0096
- NTIS No NFEC-2010-01-078146
- 설치기관 한국과학기술연구원
- 주소 서울 성북구 월곡2동 1~68 서울 성북구 하월곡2동 39-1
- 담당자 송종한 (T. 02-958-5960 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
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제작사
에이피텍
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모델 명
Titan
내용연수8년
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구분
부대장비(부가장치) (주장비:)
용도분석
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표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 투과전자현미경
-
취득일
2008-07-21
취득금액214,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
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사용형태설치형태
고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료200,000원
장비설명
Super TEM은 TEM의 기능을 뛰어 넘는 공간분해능과 점분해능을 갖추고 있어 그동안 차세대 반도체 분석 난제로 여겨지던 나노 영역의 조성, 응역, 두께, 화학적 결합 등에 대한 분석 및 해석 가능
장비 구성 및 성능
-나노 두께 및 선폭 측정 장비, shallow junction 깊이분포도 분석 장비 - 미량 도핑 원소의 정량 및 2D/3D 분포도 분석 장비 - 나노 오염 입자의 크기, 조성 및 오염원 분석 장비
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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